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直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的H型氣浮導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的H型氣浮導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

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簡(jiǎn)介:

建立了雙邊直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的H 型氣浮精密定位平臺(tái),對(duì)該精密定位系統(tǒng)的氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)方法和雙邊直線電機(jī)同步運(yùn)動(dòng)控制等關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究。利用有限元法設(shè)計(jì)了氣浮導(dǎo)軌,分析了氣膜壓力場(chǎng)的分布情況,采用預(yù)加載技術(shù)提高氣浮導(dǎo)軌的承載能力和剛度等性能。靜態(tài)特性實(shí)驗(yàn)表明,開發(fā)的定位平臺(tái)氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載能力和剛度, X 、Y導(dǎo)軌的豎直方向靜剛度為276. 9 N/μm 和333. 3 N/μm。設(shè)計(jì)了基于同步速度偏差的改進(jìn)型并聯(lián)結(jié)構(gòu)同步控制器,采用模糊控制實(shí)現(xiàn)PID 參數(shù)的自適應(yīng)在線整定。運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn)表明,改進(jìn)的控制器具有

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