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直線電機(jī)氣浮精密平臺(tái)的設(shè)計(jì)與控制

直線電機(jī)氣浮精密平臺(tái)的設(shè)計(jì)與控制

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簡(jiǎn)介:

高精度綜合測(cè)量?jī)x在工作中要求達(dá)到亞微米級(jí)的運(yùn)動(dòng)精度, 為此建立了X Z 直線電機(jī)氣浮精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái), 對(duì)氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)、直線電機(jī)控制等關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究. 采用有限元設(shè)計(jì)法設(shè)計(jì)了氣浮導(dǎo)軌, 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明, 采用該方法設(shè)計(jì)的氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載能力和剛度. 提出一種改進(jìn)的PID控制策略, 從而改善直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的抗干擾能力, 并使其獲得較高的穩(wěn)態(tài)位置精度. 實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示, 在采用這種控制方法后, 直線電機(jī)氣浮精密平臺(tái)的定位精度可達(dá)到0. 5 􀀁m.

[展開]

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