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拉晶工藝的相關(guān)知識(shí)

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級(jí)別:| 積分:0 分 | 瀏覽:85840 | 大。170.50KB | 下載:5115 次 | 上傳:2013-03-22

簡(jiǎn)介:

一、與雜質(zhì)有關(guān)的幾個(gè)概念 二、摻雜劑的選擇 三、根據(jù)雜質(zhì)在晶體中的擴(kuò)散系數(shù)選擇 四、常用摻雜劑 五、摻雜量的計(jì)算(輕摻雜時(shí)) 六、縱向電阻率均勻性的控制 七、徑向電阻率均勻性的控制 八、生長(zhǎng)層定義 九、直拉法工藝中消除旋轉(zhuǎn)性條紋 十、消除一般性雜質(zhì)條紋的辦法 十一、強(qiáng)磁場(chǎng)中拉單晶(MCZ)的改進(jìn)作用

[展開(kāi)]
 

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