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管式PECVD流量對(duì)太陽電池氮化硅膜影響的工藝技術(shù)

管式PECVD流量對(duì)太陽電池氮化硅膜影響的工藝技術(shù)

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級(jí)別:| 積分:60 分 | 瀏覽:85454 | 大。179.00KB | 下載:5560 次 | 上傳:2013-03-22

簡介:

管式PECVD設(shè)備的工藝氣體流量的改變,會(huì)直接改變膜厚、折射率、吸光系數(shù)、少子壽命、轉(zhuǎn)換效率,而其變化不是單調(diào)上升或單調(diào)下降的,通過該技術(shù)分析,可以避免在工藝中為了獲得膜均勻而忽略了流量是和電池轉(zhuǎn)換效率密切相關(guān)的事實(shí),可以讓大家進(jìn)一步明白電池轉(zhuǎn)換效率與膜性能的密切聯(lián)系。

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